Общ преглед

STACIS IIIc е компактна версия на активната изолационна система STACIS III**. Той осигурява същата отлична изолация на вибрацията при намалена височина.

STACIS IIIc е идеален за използване на подвижни подове без или с много ниски подове, тъй като височината на стандартната система STACIS III прави инструмента твърде висок.

В конфигурацията с три изолатора височината на изолатора е с 60% по-ниска от тази на обикновения STACIS III. В системи с повече от 3 изолатора височината ще бъде между 60% и 70% в зависимост от настройките на ефективното натоварване. За повече информация вижте спецификациите по-долу.

Предимства на STACIS IIIC

Височината на изолатора** е с 42% по-ниска в сравнение с конвенционалната система STACIS III, но производителността не е намаляла.

STACIS е стотици пъти по-силен от въздушната изолация и няма ограничения за въздушната изолация. Той няма "меко" окачване и за разлика от активната въздушна система, STACIS може да бъде поставен под инструмента с вътрешна активна въздушна изолация, така че и двете системи да работят в състояние **.

Уникален сериен дизайн и патентована високомощна пизоелектрическа технология

Осигурява широка активна честотна лента от 0,6 Hz до 150 Hz и 90% намаляване на вибрацията ** от 2 Hz.

Производителност

Спецификации за производителност

спецификации

Изисквания за конструкция, размери, околна среда и полезност на изолатора

Контролер DC-2020

Потребители и приложения на STACIS
Микроелектроника, полупроводници
▪ Откриване на чипове
▪ Технология за микрооптография
▪ Калибриране на маската
Научни изследвания, нанотехнологии
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3. лазерна станция
▪ Науки за живота, разработване на лекарства
4 Индустриални приложения
▪ Прецизна обработка

Защо да изберем активна система?
▪ Силно елиминиране на земните вибрации от <1Hz, пневматичната платформа не може да играе ефективна изолация на вибрацията при тази ниска честота
▪ Повишаване на качеството и производителността
▪ Способност за изображение с по-малки характеристики
▪ Гранични изследвания
▪ По-стабилна от пневматичната платформа
▪ ** Решение, което отговаря на стандартните параметри за монтаж на мястото на SEM
▪ По-ниски разходи за ново лабораторно и изследователско оборудване

Защо да изберете STACIS
▪ Това е в сърцето на учените и осигурява възможно най-безсътресена среда.
▪ ** Силна нискочестотна изолационна система на пазара.
▪ В момента всички производители на SEM са публикували изисквания за монтажни параметри, които изискват активна изолационна система за вибрация.
▪ STACIS** е изобретен през 90-те години и е разработен, разработен и инсталиран от TMC с хиляди активни изолационни системи, които са надеждни решения в областта на активното изолиране на вибрацията.

STACIS е стотици по-твърд от пневматичния изолаторпъти
Стабилното време в отговор на смущения е значително съкратено благодарение на уникалния сериен дизайн и е идеално за използване при производство на машини, динамични натоварвания, лазери или независими твърди плочи, които изискват монтаж на източник на светлина.

Следните предимства са в индустрията **
▪ Активната изолационна честотна лента на STACIS е 0,6 Hz - 150 Hz
▪ Активно отстраняване на вибрациите с 6 градуса свобода и вибрации с интервал от 8-10dB при 1Hz
▪ Изолация от вибрации от 2-3Hz до 90% (20dB)

Професионално изследване на околната среда
Проучване на околната среда преди и след инсталацията, включително вибрации, магнитно поле и звукови вълни
Сертификация на екологичната система след инсталация
▪ Перфектни услуги за изследване на околната среда
▪ Професионален екологичен доклад
▪ Предлага откриване и решения за вибрации, магнитни полета и звукови вълни
▪ TMC препоръчва практически решения на своите потребители въз основа на богатия си опит
▪ Повече от 40 години опит в индустрията **

Прилагане на снимки